セラミックス材料技術
MirrorBeta(CVD-SiC)
ガラスレンズ金型向けに独自開発
MAX 5mmの超極厚膜
分厚いのに微細で緻密な膜を実現！
ガラスレンズ金型向けにMirrorBeta(CVD-SiC)を独自開発しました。一般に製造されているCVD-SiCは、100μm程度の肥大粒子を含み、研磨による表面荒れが問題となります。一方、TESのMirrorBetaは、微粒子で緻密であり、理想的な面精度を実現できます。2020年には、粒子径約10μm以下のTM01を開発。さらに、超高精度レンズ向けに技術開発を進めております。
レンズ金型向けで培った技術を用いて、サセプターや結晶成長用るつぼ、半導体装置部品などへのCVD-SiCコートも行っています。
超精密加工
超精密加工機とMRF(磁性流体研磨機)、そして匠の技を組み合わせることにより、超高精度な面を実現。通信用のΦ0.2超小型レンズ金型から、4K/8Kシネマ用のφ100の大型レンズ金型まで幅広く対応いたします。近年問題に上がっている輪線※にも対応いたします。
※別名 玉ねぎボケ：長周期の形状誤差により、ピントをずらした時に点光源が玉ねぎ状にボケる現象
～非球面金型(MirrorBeta)のパンチ面の加工にMRFを用いた例～
